化學氣相沉積是工業生產和科研實踐中的一項重要技術，其基本原理為氣相反應物在高能量環境（熱，光，等離子）激發下產生化學反應而形成固體產物。化學氣相沉積技術廣泛應用于粉體的制備和表面改性，目標產物為游離的固體形式得到超細粉末，目標產物以一定方式沉積在粉體或基體表面可以形成功能化的薄膜或涂層。無論是粉體制備還是表面涂覆，粉體顆粒本身良好的分散性及良好的氣固接觸是非常重要的因素。在眾多的粉體分散技術中，流化技術由于分散性好，可以實現顆粒的循環流動，被廣泛用于化工生產過程。而將化學氣相沉積和流化技術相結合，就產生了一種新型的材料制備技術。

在流化床中，顆粒在高速氣流的作用下處于流態化，而氣體反應物通過載帶的形式進入流化床，在高溫區發生化學反應，形成超細粉末或者沉積在顆粒表面。該項技術起源于核能領域，初應用于陶瓷球形核燃料核芯的包覆，后逐步擴展到碳納米管制備、多晶硅制備、催化載體及粉體改性等領域。